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紫外線傳感器用于紫外準分子燈清潔微電子產品時紫外輻射強度監測

紫外線傳感器用于紫外準分子燈清潔微電子產品時紫外輻射強度監測

在工業領域作業中,最常用的準分子波長是172nm,其能量足以直接裂解所有有機分子的主要鍵,除了碳和氧之間的鍵和一些無機氧化物之間的鍵,這使其成為表面改性、光清洗... 繼續閱讀 »