在工業(yè)領域作業(yè)中，最常用的準分子波長是172nm，其能量足以直接裂解所有有機分子的主要鍵，除了碳和氧之間的鍵和一些無機氧化物之間的鍵，這使其成為表面改性、光清洗和光固化的絕佳選擇。

準分子燈，又稱紫外線準分子燈，是利用準分子氣體比例，獲得172nm、222nm或308nm等不同單色波長的高強度準分子紫外光，準分子發(fā)射的紫外光具有單光譜特性。窄的譜線和單色的紫外線輻射光譜，使其能夠使用更集中的功率進行光處理。

與普通汞紫外線燈相比，準分子紫外線燈功率極大，靶向更為精準，無汞，綠色環(huán)保，可回收，無二次污染。它們克服了現(xiàn)有的技術(shù)瓶頸，具有能量密度高、反應溫度低、反應時間短等特點，在微電子、醫(yī)藥、、生態(tài)環(huán)境保護等領域得到了廣泛而獨特的應用。

準分子燈最常見的應用是清潔微電子產(chǎn)品。當紫外線照射到固體表面后，表面污染物的有機分子被強烈的光能切斷和氧化，進而分解為氧和氫等揮發(fā)性物質(zhì)，最后揮發(fā)消失，清洗后的表面清潔度極高。

在使用紫外準分子燈進行清潔時要注意紫外線的輻射強度，輻射強度的大小對最終的清洗效果是有一定影響的，輻射強度低清潔效果不理想，工采網(wǎng)技術(shù)工程師推薦使用紫外線傳感器來進行UV準分子燈的紫外線輻射強度監(jiān)測，如工采網(wǎng)代理的韓國GENICOM 紫外線傳感器 - GFUV-T10GD-L，以氮化鎵鋁為基礎的材料，Schottky-type光電二極管，光伏模式操作；適用于遠紫外線監(jiān)測、準分子燈監(jiān)控。

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