在工業領域作業中,最常用的準分子波長是172nm,其能量足以直接裂解所有有機分子的主要鍵,除了碳和氧之間的鍵和一些無機氧化物之間的鍵,這使其成為表面改性、光清洗和光固化的絕佳選擇。
準分子燈,又稱紫外線準分子燈,是利用準分子氣體比例,獲得172nm、222nm或308nm等不同單色波長的高強度準分子紫外光,準分子發射的紫外光具有單光譜特性。窄的譜線和單色的紫外線輻射光譜,使其能夠使用更集中的功率進行光處理。
與普通汞紫外線燈相比,準分子紫外線燈功率極大,靶向更為精準,無汞,綠色環保,可回收,無二次污染。它們克服了現有的技術瓶頸,具有能量密度高、反應溫度低、反應時間短等特點,在微電子、醫藥、、生態環境保護等領域得到了廣泛而獨特的應用。
準分子燈最常見的應用是清潔微電子產品。當紫外線照射到固體表面后,表面污染物的有機分子被強烈的光能切斷和氧化,進而分解為氧和氫等揮發性物質,最后揮發消失,清洗后的表面清潔度極高。

在使用紫外準分子燈進行清潔時要注意紫外線的輻射強度,輻射強度的大小對最終的清洗效果是有一定影響的,輻射強度低清潔效果不理想,工采網技術工程師推薦使用紫外線傳感器來進行UV準分子燈的紫外線輻射強度監測,如工采網代理的韓國GENICOM 紫外線傳感器 - GFUV-T10GD-L,以氮化鎵鋁為基礎的材料,Schottky-type光電二極管,光伏模式操作;適用于遠紫外線監測、準分子燈監控。
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