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IST流量傳感器在質量流量控制器中的應用
熱式MFC/MFM，也就是熱式質量流量控制器，是一種用于通過測量流體的質量流量來控制流量的設備。在終端應用中，MFC的失準或制造缺陷會導致晶圓產量下降，甚至會損... 繼續閱讀 »
在質量流量控制器的應用中IST流量傳感器的作用 ? ? ?
質量流量控制器，即 Mass Flow Controller(縮寫為MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流... 繼續閱讀 »
