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標簽: 流量控制
氣體質量流量傳感器在等離子體的流量控制應用方案
冷等離子體是等離子體的一種近似模型。是指它假定等離子體的溫度為零,用來討論熱效應可以忽略的物理過程。冷等離子體，有時被稱為非熱等離子體或非平衡等離子體，是一種特... 繼續閱讀 »
變風量系統(VAV)流量控制解決方案
變風量（Variable Air Volume）空調系統是一種可以根據室內負荷需求變化或室內要求參數，通過改變送風量來調節室內溫濕度的空調系統，特色是能夠準確靈... 繼續閱讀 »
熱式質量流量傳感器在半導體生產過程中的流量控制技術方案
半導體生產過程中的某些工藝涉及氣體與半導體基片的反應，比如沉積工藝和刻蝕工藝，氣體的流量將對工藝結果產生重要影響。為了使生產的半導體獲得較高的良品率，必須對流入... 繼續閱讀 »
