隨著科技的不斷發展，傳感器成為了科技發展中必不可少的重要元素，硅壓阻式壓力傳感器則是以體積小、靈敏度高、技能老練等長處成為了傳感器中的新秀，目前已經得到了廣泛的應用。硅壓阻式壓力傳感器是采用硅壓阻原理，利用單晶硅良好的機械性能和電學性能，通過擴散或離子注入工藝將對壓力敏感的電阻注入到感壓薄膜中，實現感壓元件和轉換電路的集成而制作的傳感器。在工業實踐中由于硅壓阻壓力傳感器是以硅材料為基礎的物性型傳感器，硅材料受環境溫度影響較大，致使零點漂移和靈敏度漂移，因而溫度抵償問題是進步傳感器功能的一個關鍵環節。

硅壓阻式壓力傳感器 27AND37 則是采用 Measurement Specialties 專有 UltraStable? 沖模來提供大溫度范圍內的出色性能和長期穩定性。由于其特點該傳感器的測量儀和壓差范圍在0-15 到 0-250 psi 之間可用。硅壓阻式壓力傳感器也會隨著溫度的變化，使得硅應變片的電阻也會發生變化，同時壓阻應變系數會發生變化，因此壓力傳感器的靈敏度和零位輸出也會產生變化。所以在電路中對這種變化中它使用了激光調節電阻器在 -20oC 到 +85oC 的范圍內提供積分溫度進行了補償，而無需加任何外部補償。其中它還包含了另外一個激光調節電阻器，可通過對外部差分放大器的增益進行編程來標準化壓力敏感度變化。這可以提供 ±1% 的敏感度可互換性。

硅壓阻式壓力傳感器在各行業中被廣泛的應用：例如：在醫療器械中的應用，據稱一些大的醫療機械制殺菌每年要使用近500萬只壓力傳感器。硅壓阻式壓力傳感器擁有體積小，重量輕，靈敏度高等特點主要用于檢測醫用消毒柜內的殺菌氣體的壓力，且保證氣體濃度足夠，此外他還為手術鉗之類的醫療機械提供了消毒保證。硅壓阻式壓力傳感器還可應用于氣體流量的測量這里主要針對小流量，比如當機器設備啟動時，硅壓阻式壓力傳感器可以檢測到散熱設備的風扇是否有轉動，并且通過檢測風扇的空氣流速和流量來確定風扇的間歇性。除此之外硅壓阻式壓力傳感器還可檢測暖通空調管道中因不同區段安裝而含有氣壓傳感器的設備以此來檢測不同管道的氣壓大小，從而得知不同區段不同房間上的空調是否在工作。硅壓阻式壓力傳感器在撿漏中的應用也是非常受歡迎的，它可以在密閉容器或實驗空間內在氣體壓強不變的情況下，檢測出因為氣體漏氣的狀態下，而導致氣壓產生變化，從中檢測出變化量，從而得知漏氣，典型應用消毒柜，實驗箱等。由于硅壓阻壓力傳感器通常有四個力敏電阻組成全橋式的惠斯登橋路，四個電阻雖都受到橫向壓力，但是硅壓阻壓力傳感器輸入和輸出之間還是存在著良好的線性關系，且有相似的非線性特性，所以構成全橋時，非線性特性可相互抵消，因此非線性可以做得很小。

轉載請注明出處：傳感器應用_儀表儀器應用_電子元器件產品 – 工采資訊 http://www.iohhome.com/4547.html