制氧機是利用分子篩物理吸附和解吸技術，將空氣中的氮氣吸附，經凈化處理后得到高純度氧氣。現在的氧療氧保健設備大致分為氧濃度30%-60%的保健用氧氣機、90%以上的分子篩醫用制氧機以及氧氣濃度更高的氧氣鋼瓶和便攜式氧氣瓶等類。在氧療和氧康復中，吸氧過少達不到療養效果，吸氧過度則造成危害，因此控制氧流量至關重要。

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流量傳感器應用于制氧機時主要用于測量進入系統的氧氣的流量，以確保充足的空氣供應。用于制氧機的氣體流量傳感器必須能夠測量超低流量，通過判斷患者睡眠時的呼吸節奏，根據呼吸速度快慢，控制進氣泵，調節通氣量大小與速度，使患者呼吸和進氣頻率保持一致，以提供肺部足夠的氧濃度。

工采網提供的美國Siargo 質量流量傳感器模塊 - FS6122系列是專為急救呼吸機和家用呼吸機等呼吸回路而設計的流量傳感器。產品有不同的流量范圍，適用于嬰兒與成人應用。 產品的機械接口為ISO-22mm，入氣口與出氣口采用不同的設計，防錯性強，同時也將死區減小到zui小。矽翔微機電系統有限公司專有的MEMS技術，使得在保證了產品可靠性和性能的同時，價格也非常低。

美國Siargo 質量流量傳感器模塊FS6122系列產品特點：

專門為醫療持續正壓通氣（CPAP）應用而設計

直接測量質量流量和相對壓力

可選配溫度和濕度輸出

緊湊設計，體積小，死腔小

響應時間快，可同時提供線性數字信號和模擬信號

低功耗

美國Siargo 質量流量傳感器模塊FS6122系列流量信號：

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