現在臭氧殺菌很常見，根據臭氧殺菌原理發明的臭氧殺菌柜也有許多用途，它使用臭氧作為殺菌劑進行殺菌。臭氧滅菌柜可廣泛用于制藥廠、醫院、生物制品廠、化妝品廠、食品廠等行業的包裝容器、工作服、清潔用具、原輔材料、模具等的常溫滅菌。

臭氧是氣體消毒劑，其滅菌過程是強氧化，使微生物細胞中的各種成分發生反應，導致不可逆轉的變化和死亡，通過直接破壞病毒的RNA或DNA來滅活病毒。為了殺死細菌和霉菌，臭氧首先作用于細胞膜，對細胞膜的成分造成損害，引起代謝紊亂并抑制其生長，然后繼續滲透并破壞膜中的組織，直到被殺死。

臭氧作為廣譜無殘留污染的氣體消毒劑，與食品工業中常用的甲醛和二氧化硫相比具有特殊的優勢。臭氧會自行分解為氧氣，無殘留污染，消毒后只需通風。

以食品工業為例，臭氧在食品工業中的應用目的有兩個方面：殺死微生物-殺菌和消毒；氧化分解有機或無機物質，污染氣體味道，除臭凈化。這兩方面的應用基礎取決于臭氧的強氧化性能和不穩定和可分解特性。

消毒柜的用途是殺菌，因此，當我們將需要消毒的物品放入柜子內時，應注意物品之間的間距，不要過多地使用室內空間，否則我們將無法達到理想的消毒效果。

在整個消毒過程中，除非必要，否則無需打開柜門，這不僅會危及消毒效果，但也會增加功耗。如果是高溫消毒柜，消毒后柜內溫度仍然很高，一般來說，需要在10～20分鐘后才能打開柜子拿東西，并且每次消毒完成后，必須立即關閉開關電源或拔下電源。

臭氧消毒柜中臭氧濃度的把控很重要，只有適當的濃度才能保證消毒效果。工采網建議使用臭氧傳感器來監測消毒柜中臭氧的濃度，如以下兩款：

美國ECO 臭氧傳感器 - OEM-3，集成了電源、傳感器信號處理、設定點控制、模擬輸出信號和輸出繼電器，零按鈕允許重新調零傳感器輸出。

美國SPEC Sensors 小體積臭氧傳感器 (O3傳感器) - 3SP-O3-20,超薄型印刷傳感器易于集成到無線，手持及其他網絡方案中;由于其高性能，低成本和小體積，這些傳感器是健康，環境，工業和住宅監測的理想之選。

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