在工業自動化中，傳感器在使產品智能化和自動化方面發揮著至關重要的作用。傳感器幫助人們檢測、分析、測量和處理各種變化，如工業生產現場的位置、長度、高度、外部和錯位的變化。工業自動化中使用的主要傳感器包括壓力傳感器、真空傳感器、振動傳感器等。

壓力傳感器：廣泛用于工業和液壓系統，這些高壓工業自動化傳感器也用于氣候控制系統。

真空傳感器：當真空壓力低于大氣壓時，很難用機械方法檢測，所以采用真空傳感器，這些傳感器通常取決于電阻與溫度相關的加熱絲。當真空壓力增大時，對流減小，導線溫度升高。電阻成比例增加，并在壓力附近校準，以有效測量真空。

真空度是指氣體在大氣壓以下的稀薄程度，通常用壓力來表示。高壓表示真空度低，低壓表示真空度高。由于真空傳感器上方的腔體是真空腔體，在大氣壓下，作為傳感器敏感元件的硅膜片會在壓力的作用下向上凸起。

氣體真空度與單位體積內的空氣分子數成正比，單位體積的空氣分子數不同，電阻絲的溫度就不同，因為電阻絲的電阻率是關于溫度的函數，所以不同的真空度就會導致電阻的不同。根據電阻的變化就能夠測量出氣體的真空度。

工采網代理了瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器MTCS2601，可以檢測真空度，該傳感器結合了低功耗 CMOS 標準集成電路，非常適合 OEC廠商的泄漏檢測，或者基于帕拉尼原理的真空度檢測，需要超低功耗，長壽命和免維護的產品。

另外還有Posifa 微型皮拉尼真空傳感器PVC1000系列，依據氣體熱導率與低真空范圍的壓力成正比的原理，微型皮拉尼真空傳感器測量加熱元件電阻值的微小變化，這一變化產生的原因是熱量傳遞到周圍氣體而引起的溫度改變，與氣體熱導率相關。

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