皮拉尼真空計，又有翻譯派藍尼真空計。此種真空計屬于熱傳導式真空計的一種

工作原理如下：

利用惠斯通電橋的補償原理，其中的一燈絲作為該電路的其中一個電阻。當燈絲所在的氣體分子密度改變時，其熱導率會有所不同，因此燈絲所表現的溫度也會不同，間接影響電阻值的大小。固定電壓，固定電流以及固定溫度中以一種方法做敏感。值得注意的是，不同氣體的熱導率不同，因此在測量的時候要刻度上需要校對。

此行真空計通過測量一發熱體與一接收發熱體之間的熱傳導程度來判斷氣體的壓力。

當Kn值（克努森數）在0.01 <Kn< 10 之間時，熱傳導的量與壓力成正比。

在低壓力時，熱的失散可以通過三種途徑，分別是周圍氣體的導熱，熱輻射，以及支柱發熱體的主干。

為了使測量壓力的精確度提高，因盡可能的避免后兩種的熱量損失。

皮拉尼真空機中的惠斯通電橋電路一般采用熱導式的傳感器，深圳市工采網專業提供此類傳感器MTCS2601，具體如下：

熱導式傳感器MTCS2601的特點：

? MEMS 傳感器遵循沒有化學反應的物理皮拉尼原理，基于氣體熱導率變化對于壓力
? 測量范圍： 0.0001~1000mbar，卓越的可重復性
? 硅晶片上有加熱電阻，并且有優異的溫度補償
? 超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
? 穩定和長的 MTBF（>30000 小時），基于物理阻抗感應原理
? 超低功耗消耗（<6mW） ,由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
? 超快響應時間<50mS
? 對安裝位置不敏感
? 可以使用在串擾氣體環境中
? 與一個簡單恒定的溫度電路兼容

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