近日，領先的微機電系統（MEMS）和傳感器代工廠Micralyne在日本“MEMS傳感和網絡系統展會”上展示了用于開發下一代氣體傳感器的MEMS技術平臺——標準的硅工藝技術和工藝模塊。該新平臺擴展了Micralyne現有的標準MEMS模塊，并為設計人員提供了實現當前氣體傳感器目標市場所需的小型化、低功耗氣體檢測結構的方案。

集成微型加熱板的金屬氧化物氣體傳感器，芯片尺寸為1.6mmx1.6mm

金屬氧化物氣體傳感器組件

氣體傳感器市場正在發生巨大變化，主要由大量的消費類應驅動發展，例如應用于物聯網領域的各種智能家居和可穿戴設備，實現周圍環境空氣質量的監測。現有的氣體檢測技術正在經歷新的技術挑戰，如成本大幅下降、功率低、選擇性提高、不同類型的氣體檢測，以及較寬的工作溫度。

“Micralyne已經看到了亞太地區客戶對小型氣體傳感器的需求增長，為了加速客戶的產品設計，我們開發了一套標準工藝，可以快速實現氣體傳感器的量產，這主要得益于我們在氣體傳感結構方面的豐富經驗，以及十多年的薄膜流量傳感器的量產經驗。”Micralyne技術副總裁Collin Twanow說道，“我們很高興能夠與日本合作伙伴Adamant一起展示MEMS技術平臺。”

Micralyne的MEMS技術平臺提供MEMS設計的模塊化方法，并通過半定制設備快速實現產品原型開發，加速度量產進度，但不會犧牲產品的質量和一致性。Micralyne從2006年開始就提供標準工藝和MEMS模塊，努力降低MEMS研發成本，縮短MEMS產品上市時間。

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